蓝宝石衬底减薄机是指对蓝宝石衬底的厚度进行磨削，磨削到某一定量数值并且保证工件表面的质量不变。当然蓝宝石衬底减薄机不单单只有使工件变薄的功能，蓝宝石衬底减薄机还具备研磨抛光的工艺，或者说，减薄本身就属于研磨的范畴，只是磨削量不同而已。
蓝宝石衬底减薄机的工艺原理是由真空主轴吸附蓝宝石衬底与金刚石磨轮作相反方向高速磨削，金刚石磨轮前后摆动。摆动不断产生摩擦，将蓝宝石衬底表面均匀的去除，当蓝宝石衬底表面材料去除到某一定量的时候，就达到了减薄机的效果。
一般来说这种蓝宝石衬底减薄机具备以下几个特点：高速，只有在速度较高的情况下，蓝宝石衬底表面才会均匀受力，减薄出来时才能保证平面度，平行度，光洁度等。高产量，蓝宝石衬底在这种减薄机上每分钟可减薄48um，所以产量非常高。
